真空熱處理爐快速泄漏的理論分析

 　　真空熱處理爐快速泄漏的理論分析

　　真空度快速下降，一般不用多考慮，肯定存在泄漏點。快速泄漏原因的查找較微量泄漏容易的多，應用理論分析的方法就可解決問題，最多輔之以簡易的檢漏方法，就可以找到泄漏點。理論分析的基礎是數據，沒有真實、詳細的數據是無法進行理論分析的。當真空熱處理爐的真空度出現異常時，要詳細觀察真空度下降的過程、真空度下降前后設備的工作情況、設備上各指示儀表的數據變化情況，包括回充氣壓力表的變化情況，這些數據是進行理論分析的重要依據。有時候依據數據變化情況進行理論分析甚至可以直接找到泄漏點。下面舉兩個應用理論分析找到泄漏點實際例子。

　　某設備有一次在正常工藝運行的過程中，真空爐加熱區的真空度突然快速下降，觀察淬火區的真空度基本正常沒有變化，當加熱區的真空度低于淬火區的真空度后，加熱區的真空度仍然下降，淬火區的真空度還是正常沒有大的變化，派設備操作者檢查設備上加熱區真空泵的工作情況，回報都工作正常。工藝過程是在回充氣的過程中發生的，立即讓設備操作者去檢查回充氣儲罐的壓力表變化情況，回充氣儲罐的壓力在連續下降，初步確認可能是回充氣閥有問題，馬上讓操作者把儲氣罐的供氣閥關上，這時加熱區的真空度開始上升，從而證實了確實是回充氣閥泄漏造成的加熱區的真空度下降。站在控制室里觀察儀表的變化情況，派操作者分頭去檢查泵和儲氣罐的變化情況，3min內就把故障排除了。其實當時腦子里還想了很多，首先排除了測量系統的故障，真空規的污染對真空度的影響應該是一個緩慢變化的過程；也不會是真空室內工件表面放氣引起的，因它不會產生如此大的脫氣量；一定是突發的大漏孔引起的。這種漏孔的泄漏一般不會發生在靜密封處，多發生在動密封處，馬上想到加熱區的動密封有幾處，目前的工作狀態與哪部分有關，既然是在熱區回充氣的過程中發生的，那么就是它的問題了。停爐后檢修閥門，從根本上解決了問題。再舉一個淬火區的真空度的問題。該設備：由主粗機械泵和羅茨泵組成的抽氣系統，同時連著熱區和冷區，開爐時先由它抽熱區，當熱區達到一定的真空度時，由它轉抽冷區，而這時由前置機械泵和擴散泵組成的抽氣系統抽熱區。有一次開爐后，先由主粗機械泵和羅茨泵組成的抽氣系統抽熱區，然后轉抽冷區，由前置機械泵和擴散泵組成的抽氣系統抽熱區。熱區的真空度達到了極限真空度，而冷區的真空度達不到要求，檢查泵的工作狀態都正常，機械泵也定期進行氣鎮了，初步判斷冷區有泄漏，熱區的真空度正常，說明不是中間門的問題，如果中間門有泄漏，冷區的真空度反而會提高，因熱區的真空度高，前置機械泵和擴散泵組成的抽氣系統會幫著抽冷區。從冷區經常活動的部位就只有前門了，初步懷疑前門密封有問題，再者檢查前門密封是最容易的，也不需要拆設備，屬于正常的維護，停爐更換密封后問題解決了。